百级半导体洁净厂房确保空气微粒操控规范的重点是采纳一系列归纳办法,以确保车间内的空气质量满意严厉的洁净度要求。以下是一些详细的做法和规则,详细随合洁科技电子洁净工程公司一同来了解下吧!
0.5微米的最大容许粒子浓度小于3520(pc/m³),5微米的最大容许粒子浓度小于293(pc/m³)。
在无尘车间中装备高效的空气洁净设备,如高效过滤器、空气净化器和风机过滤机组等。
建筑资料挑选:挑选外表非常润滑、不易积尘、易于清洁的资料,如不锈钢、彩钢板、玻璃等。
施工流程操控:严控施工流程,确保无尘车间的洁净度。包含全面清洁施工现场、按规则次序施工、防止穿插作业和尘埃发生,并在施工完成后做全面的清洁和消毒处理。
人员收支是导致无尘车间洁净度下降的根本原因之一。因而,对进出无尘车间的人员要进行严厉的办理。
进入百级净化车间的工作人员必定穿戴无尘服与无尘鞋,并遵从规则的进入次序,如佩带无尘帽、口罩、穿上无尘衣等。
选用笔直单向流的气流方式,经过初效过滤器过滤掉空气中的大颗粒粉尘粒子,再经过高效过滤器进行二次过滤,以到达洁净要求。
百级无尘车间层流风速大于0.35 m/s,换气次数需在200次/h以上,以确保空气的充沛流转和洁净。
坚持正压,相邻房间压力梯度确保在10pa左右,以起到维护外部环境的效果。
经过施行以上办法,百级半导体洁净厂房能确保空气微粒操控规范得到满意,来确保半导体出产的悉数进程的洁净度和产品质量。
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